沉积气体

沉积气体

化学气相沉积气体用来生成沉积薄膜。不同的沉积薄膜需要不同的电子气体。

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刻蚀气体

刻蚀气体

刻蚀过程需要电子气体与被刻蚀物发生化学反应。刻蚀气体与被刻蚀物发生化学反应,导致被刻蚀物消除。

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掺杂气体

掺杂气体

离子注入气体是在作为参杂气体注入到晶圆表面。

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混合气体

混合气体

随着市场的发展,公司自主研发多种电子混合气体,解决部分“卡脖子”产品问题。

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